
一项技术从实验室走向市场,最艰难的一段路,往往不在研发本身。概念验证回答“能不能做”,中试回答“怎么做得好”——这两件事,恰恰是科研成果最容易“卡住”的地方。
在济南晶谷集成电路中试平台的万级洁净间里,两台高约2.5米的中频单晶生长炉以约1500℃的高温,将氮化镓原料升华、结晶,历时数天长成一根完整的晶锭。这条氮化镓晶体生长加工中试线可稳定量产2英寸氮化镓单晶衬底,4英寸N型、半绝缘晶体已实现技术突破,5英寸单晶样品性能处于国际领先水平。
目前,济南市已建成省、市级概念验证中心14家,省、市级中试基地18家。概念验证和中试,是科技成果走向产业化的关键环节。济南在这些环节上的布局,瞄准的正是创新链条上衔接实验室与生产线的关键一“跃”。
芯片的“公共车间”
山东不少芯片设计企业长期面临一个现实困境:样品检测、新品试产需要异地外协,不仅拉长研发周期、增加跨区域物流成本,还存在核心技术泄露风险。科技成果转化路上,如何交接好这一棒?
走进济南晶谷集成电路中试平台,这个由济南产发集团和历城区共建的平台布局了四条中试线,解决的正是集成电路领域的研发成果从实验室通往市场中“不敢试”“试不起”的难题。

这是一片注定不凡的创新土壤,堪称芯片的“公共车间”。一尘不染的测试间,看起来有些高深莫测的加工设备,敞开门,向市场承接企业商业化批量测试与小批量试产订单,面向省内高校、科研实验室开放测试工位,最大化盘活设备与技术资源。
四条中试线中,芯片检测中试线具备12纳米及以下先进制程芯片全流程检测能力。济南晶谷中试资产运营服务公司董事长许凯介绍,整条产线覆盖芯片入厂外观检验、定制化测试方案开发、晶圆测试预处理、全温域全功能FT测试、芯片自动分选、出货可靠性管控、失效分析与良率迭代优化七大标准流程,能有效解决中小设计企业无力承担千万级测试设备的行业痛点。


从容跨越壁垒,成果转化实现小步快跑。
除芯片检测中试线外,氮化镓晶体生长加工中试线由该平台联合晶镓半导体、创世威纳协同共建,覆盖了从氮化镓从单晶生长到晶圆加工全流程验证能力。碳化硅芯片及封装中试线落地山东大学专利ICP干法刻蚀技术,形成碳化硅肖特基二极管完整制备工艺包,对标国际领先水平,可开展6英寸、8英寸二极管的工艺研发、中试与小批量生产。MEMS传感器芯片中试线配置99台套工艺设备与全套工艺仿真软件,划分光刻、刻蚀、薄膜、测试等九大功能区。年产能可达5000片晶圆,综合工艺水平位居国内公共中试平台第一梯队。
“我们不是简单的设备搬运工,而是要做产业资源的超级链接者。”济南产发集团党委书记、董事长孟新介绍,相较于传统中试平台,晶谷集成电路中试平台、深度整合市属国有企业、新型研发机构及历城区各方资产与产业资源,依托产发集团的资本运作与专业运营优势,通过“通用设备集中采购、专有设备自主投入、公司化合作运营”的共建模式,将原本分散在政府、科研院所、企业手中的碎片化资源统筹整合,打造出全域开放、共建共享的集成电路公共中试载体。
机器人的“技术翻译”
从器件到整机,中试要解决的难题也在升级,跨越了曾经的遥不可及。
在济南起步区,由山东产业技术研究院与机器人国家制造业创新中心联合建设的济南市机器人概念验证中心和中试平台,已建设完成。该平台规划打造1个综合中试平台、3个特色概念验证中心,以及10类实景应用场景测试环境,是一个机器人全链条成果转化载体。

据介绍,综合中试平台为工业母机加工制造平台,聚焦减速器、伺服电机、主轴、关节结构件、精密传动零部件等机器人核心零部件。三个特色概念验证中心分别为3D打印快速成型工艺概念验证中心、机器人核心功能概念验证中心、机器人一体化关节技术验证中心。

平台相关负责人周同金形象地比喻:概念验证解决“idea到样机”的问题;中试解决“样机到产品”的问题。高校里的项目大部分处于概念和原型机阶段,需要概念验证;而企业中试阶段的核心诉求,是工艺稳定性和批量一致性。
周同金将平台的核心能力归纳为两点。一个是硬件能力:归集各类设备百余台(套),涵盖从粗加工到精加工的完整链条,包括五轴超精密设备、纳米车床、高精度导轨磨床等,可加工球面、自由曲面、任意曲面,表面粗糙度达到纳米级别;另一个是团队能力:专业团队涵盖视觉、力控、大模型、机械结构等多个方向。“企业说的需求往往是模糊的,工程师团队要做的,是把这些需求语言变成工程师语言,把技术需求拆解、转化、实现,相当于技术翻译。”周同金说。


平台还搭建了10类实景应用场景测试环境,覆盖工业机器人、协作机械臂、生物制造机器人、脑机接口康复机器人、医疗手术机器人、现代农业机器人、巡检机器人、低空经济与无人机系统、智能制造垂直大模型和具身智能机器人训练场景。这些场景用于多工况性能核验、算法与整机方案迭代优化。从需求拆解到样机制造,再到实景验证,这个平台把机器人技术走向应用要走的每一步都接了起来。
打通创新链的关键一“跃”
概念验证、中试平台、中试基地,在科技成果转化链条上承担着不同的功能。概念验证中心解决“能不能做”的问题,中试平台解决“怎么做得好”的问题,中试基地解决“怎么做得又快又便宜”的问题。三者串起来,一项停留在论文或专利上的技术,就有机会一步步变成可以进入市场的产品。
这恰恰是过去较长一段时间里,创新链条上相对薄弱的一段。济南在这段路上密集布点,背后的产业逻辑并不复杂。
从产业基础看,济南在第三代半导体材料、光掩模研制、国产EDA工具研发、存储及加解密芯片研发、功率器件和分立器件制造等领域形成了自身特色,尤其在第三代半导体材料方面走在全国前列。产业越往上走,对中试服务的需求就越具体、越迫切。芯片设计公司需要检测线,电路板团队需要打样车间,机器人企业需要精密加工和场景测试。这些需求过去往往要跑到外地去解决,而今后,济南的创新团队在本地就能完成从验证到打样的关键几步,不必因为缺少设备、缺少工艺能力而把成果带到外地去转化。
从平台布局看,晶谷集成电路中试平台由产发集团联合历城区共建,聚焦晶体生长、晶圆加工、芯片检测等环节;高新东区小鸭智能制造产业园内的印刷电路板概念验证及中试转化中心由产发集团与小鸭控股集团合作运营,重点补齐电路板打样与中试环节;机器人中试平台由山东产研院牵头,联合国家机器人创新中心共建,聚焦核心零部件精密加工与实景场景测试。三个平台各自依托不同的产业主体和资源禀赋,但都把中试能力建在了产业链最需要的地方。
近期济南还修订出台“高校20条”2026版,新增支持高校建设概念验证中心条款,支持高校集聚技术成果、人才、仪器设备、资本、技术市场等要素。不久前举办的济南市概念验证中心验证项目市内转化对接会上,面向机器人触觉感知的柔性电子皮肤系统等9个项目完成签约。

实验室里的技术能在本地完成验证、打样、测试和中试熟化,高校团队的成果能在本地找到产业接口,科技成果的转化便更能成为一座城市创新体系的稳定产出。这一“跃”对于济南而言,或许更具长远意义。