格创东智AMHS，助力泛半导体行业效率升级

日前，格创东智在短短15天内成功交付首台Stocker晶圆存储立库，助力头部12吋晶圆厂实现高效自动化物料存储扩展的需求。这一成就不仅是公司业务的一次前进，更是国内AMHS技术发展的一次重要突破。

FAB厂物料存储Stocker，专为FOUP/SMIF Pod等多种载具的存储与搬运，其可根据客户现场空间及其他特色需求提供定制化服务，以最大限度利用FAB厂空间。搭载智能储位管理系统的Stocker，在FAB厂减少出库时间，提高搬送效率方面发挥着重要作用，为工厂实现Fully Auto提供重要支持。格创东智自主研发的Stocker产品线，除FOUP Stocker外，还包括国内首研的Tower Stocker，自2022年起已陆续交付客户，全面覆盖8吋、12吋料盒的存储使用场景。

对于FAB厂Stocker而言，存储只是基础需求。与AMHS上位系统进行实时通讯，实现MCS帐料自动管理，减少搬运拥堵，确保机台排产高效，是客户的高阶追求。

众所周知，AMHS主要由OHT空中搬运小车、Stocker晶圆存储立库、MCS/OHTC/STKC等软件系统组成。其中OHT作为技术最复杂的部分，其在不同FAB厂的需求也不尽相同，当前主流8吋晶圆厂的物料搬运系统因轨道岔路的数量和类型相对较少，搬运效率相对较低。而12吋晶圆厂轨道布局极其复杂，包含各类岔路、弯轨、高低轨道和升降装置；且因产能提升，对搬运速率的要求更高，需要配置更多的传感器、激光雷达等产品与控制系统；同时OHT的调度算法也更为复杂，软件迭代速度需紧跟客户需求。

对此，格创东智AMHS产品负责人指出，公司在不同晶圆厂的Demo Line验证时，已提前考虑市场需求，在性能、稳定性及软件功能等方面持续开展了大量优化迭代工作。为了更好地助力客户成功，格创东智不断迭代“AI+工业软件+装备智能”三大核心能力，加速软硬件能力的整合。公司自主研发的OHT天车，涵盖前道6吋/8吋SMIF Pod和12吋FOUP，后道Magazine，满足不同工序工厂的载具搬运需求；并提供多种轨道模组，满足12吋晶圆厂复杂的Layout需求；在OHT设备与人员高效协作方面，通过11种安全防护传感器，有效识别与自动预警天车速度、障碍躲避、碰撞检知、料盒断裂、升降晃动、硅片坠落、料盒位置等运行状况，打造高效的自动化、洁净化、低震动化的物流自动搬运方式。此外，格创东智通过设备、软件、算法和应用多维度自主研发成果结合，助力客户业务成功，提供AMHS在调度层、控制层、设备层的全栈化产品，释放客户生产的无限可能。

依照摩尔定律，半导体行业呈现产品升级迭代快、性能持续提升、成本持续下降、制程不断缩小的发展趋势。而AMHS的技术发展方向与半导体产业的未来走势密切相关。格创东智作为坚持自主研发AMHS整套自动化软硬件、设备零部件及改造解决方案的先驱企业，坚信只有自主研发的软硬件，才能应对高节拍生产中的所有不确定性。虽然自主研发之路充满挑战，但对陪伴客户全生命周期成长，满足客户不同发展阶段的柔性化升级需求，具有长远价值。

目前，格创东智在AMHS领域目标清晰，路径明确，作为国内AMHS自主研发的领军企业，我们将持续投入于产品的精细化打磨、系统性能和稳定性的提升，加速AMHS国产化替代目标的实现。

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